主要技术指标 |
|
测量参数 |
Ra、Rz、Rt、Rp、Rpm、Rz(jis)、Rv、R3z、RS、RSm、RSk、Rk |
最大测量长度 |
25mm |
直线度测量精度 |
0.4μm |
滤波器 |
高斯(Gaussian)滤波器(ISO11562:1996),RC滤波器 |
截止波长 |
0.25,0.8,2.5 |
测量重复性 |
4% |
相对示值误差 |
±7% |
示值稳定性 |
4% |
测量长度 |
λc ╳3、4、5、6、7(1.0-17.5mm) |
测量范围 |
640μm |
分辨率 |
0.001μm |
测量速度 |
0.1mm/s,0.32mm/s,0.5mm/s |
返回速度(自动) |
1mm/s |
传感器针尖 |
2μm;5μm钻石、测量力1mN;4mN |