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Talysurf CCI白光干涉表面轮廓仪

来源：广州市广精精密仪器有限公司
时间：2009-10-03 00:46:21
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Talysurf CCI白光干涉表面轮廓仪

市场价：面议

产品编号：C16149

原产地：英国

产品型号：Talysurf CCI

技术参数

(1) 类型： CCI 干涉（相干相关干涉）
(2) 分辨率： 0.1 A
(3) 测量点数： 1,048,576 ( 1024 x 1024 点阵 )
更详细参数和有关应用问题请垂询办事处产品负责人。

主要特点

•专利的相干相关算法
•0.01nm分辨率
•10-20秒测量时间
•RMS重复性：0.03A

仪器介绍

Talysurf CCI三维非接触形貌仪采用CCI（专利技术的相干相关算法）干涉原理，可高精度测量表面形貌、表面粗糙度及关键尺寸，并计算关键部位的面积和体积。主要应用于数据存储器件，半导体器件，光学加工以及MEMS/MOEMS技术以及材料分析领域。

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